Automatische Geometrieprüfung von Silizium-Ingots

Die als „Ingot-Messsystem“ bezeichnete Anlage überprüft mit mehreren laseroptischen Sensoren (Linien-Scannern) die Oberfläche des Ingots und führt dabei in wenigen Minuten selbstständig eine Messung der Seitenlängen, Phasenlängen, Winkel, Diagonallängen und Planarität der Seitenflächen durch.
Die automatische Messanlage vergleicht Solldaten mit den gemessenen Werten und klassifiziert damit den Ingot. Sie kalibriert sich vollautomatisch auf die gängigen Ingotgrößen 125 mm x 125 mm, 156 mm x 156 mm und 210 mm x 210 mm. Ingotlängen von bis zu 2500 mm sind messbar.
Die Kalibration auf den jeweiligen Ingot erfolgt durch integrierte Masterteile. Das Kennzeichnen der defekten Stellen am Ingot erfolgt entweder automatisch mit einer Markiereinheit oder manuell durch einen Werker. Für die Ermittlung der Ausbeute spielt auch das Gewicht des Ingots eine Rolle. Deshalb ist die Anlage auch mit einer integrierten Wägezelle lieferbar. Während des Messvorgangs traversiert die Sensorgrundplatte mit der Sensorik entlang des Prüflings. Dabei können je nach Kundenwunsch in bestimmten Abständen Messungen durchgeführt werden. Typisch ist eine Messung der Ingotgeometrie pro laufendem Millimeter.